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定制工件表面涂層用TA1/TA2鈦靶 鉻靶 鋯靶 鈦靶材

發(fā)布時(shí)間 :2023-06-17 20:41:40 瀏覽次數(shù) :

一、產(chǎn)品名稱:鈦靶材、鈦靶

牌號(hào):TA0, TA1, TA2, TC4, TC6, TC11, GR5, TA7 

廠家:巨偉鈦業(yè)

主要形式:圓靶、板靶、管靶

鈦含量≥:99.8(%)雜質(zhì)含量:0.02(%)重量:不等(KG/塊)

密度:4.51或4.50

圓靶:

60/65/70/80/85/90/95/100(D)×20/30/32/35/40/42/45/50(T)

板靶:60/80/120(W)x6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)x6-40(T)x600-2000(L)

管靶:0.1-30.0mm(W.T.)*3-350mm(O.D.)*50-15000mm

用途:鈦靶材用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲(chǔ)存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層,玻璃鍍膜工業(yè)等。

鈦靶材

二、產(chǎn)品名稱:702鋯靶、705高純鋯靶、鋯塊、鋯多弧靶 

分類:

形狀可分為長靶,方靶,圓靶,異型靶

成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材

鋯靶主要應(yīng)用于微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導(dǎo)電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材。

鋯靶

三、產(chǎn)品名稱:高純鉻靶、鉻靶材 、鉻靶塊、 鉻板靶

可定制靶材規(guī)格:

圓靶(直徑φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)

板靶(長<500mm,寬<500mm,高<25mm)

管靶(外直徑φ3.0mm-φ300mm,內(nèi)直徑φ2.0mm-280mm)

材料純度:>99.995%

金屬雜質(zhì)含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm

平整度(TIR):<20μm

局部平整度(STIR):<10μm

翹曲度(Warp):<50μm

鉻靶

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