鈦濺射靶材在隨著使用率的增加，表面可能會附著有殘留物，如粉塵、油污、氧化物等，繼而靶材表面有不同程度的結(jié)瘤，產(chǎn)品質(zhì)量也會有所下降，導(dǎo)致生產(chǎn)成本增加。因此，需要濺射靶材進(jìn)行充分的清潔，保證靶材的清潔度。今天巨偉鈦業(yè)就和大家介紹下鈦濺射靶材的清潔方法及養(yǎng)護(hù)。

一、鈦濺射靶材的清潔方法

清潔濺射靶材的目的是去除靶材表面可能存在的雜質(zhì)灰塵或污垢。可以通過以下方法達(dá)到清潔目的。注意清潔靶材時請配帶干凈而且不會起絨的保護(hù)手套，避免用手直接接觸靶材。

1、吸塵器清潔

（1）清除大顆粒物，采用吸塵器將濺射成膜過程中沉落到靶材濺射面的大顆粒物吸除干凈

（2）砂紙打磨，采用相應(yīng)目數(shù)的砂紙對靶材的濺射面進(jìn)行打磨，打磨方向順應(yīng)靶材濺射面形成有的跑道的方向，同時將位于跑道中間表面泛黃的氧化層打磨干凈，去除濺射面的氧化物和雜質(zhì)。

（3）清潔除塵，采用吸塵器將靶材的濺射面上由于砂紙打磨而產(chǎn)生的顆粒物和灰塵吸除干凈。

（4）擦拭清潔：采用無塵布蘸取少量酒精對靶材的濺射面進(jìn)行擦拭清潔，除去沒有完全吸除的灰塵，直至無塵布表面只有輕微變色。

2、其他清潔法

（1）用在丙酮中浸泡過的無絨軟布清潔；

（2）用酒精清潔；

（3）用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無絨布”進(jìn)行清潔；

（4）用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會造成起弧的雜質(zhì)微粒。以上是濺射靶材清潔方法的介紹，接下來我們再來講解下濺射靶材的養(yǎng)護(hù)。

二、鈦濺射靶材的養(yǎng)護(hù)

1、密封性檢查

靶材完成安裝后需要對整個陰極進(jìn)行短路檢查及密封性檢查，建議通過使用電阻儀搖表的方式對陰極是否存在短路進(jìn)行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進(jìn)行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現(xiàn)象。

2、濺射靶材保養(yǎng)

對使用完成的濺射靶材進(jìn)行保養(yǎng)，為避免在再次濺射過程中因為不潔凈的腔體導(dǎo)致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側(cè)堆積的濺射物，這也有助于用戶可以連續(xù)以大功率密度進(jìn)行濺射。

3、濺射靶材儲存

濺射靶材不用時，無論是金屬或陶瓷類的靶材，建議用戶將靶材保存在真空密封塑料袋中，并附有防潮劑。尤其是貼合靶材更需要保存在真空條件下，以避免貼合層氧化影響貼合質(zhì)量。靶材外包裝一般為木箱，四周有防撞層，以保護(hù)靶材和背靶避免在運(yùn)輸和儲存過程中發(fā)生損壞。

濺射靶材的清潔方法及養(yǎng)護(hù)不可忽視，因為靶材的清潔度對于濺射鍍膜過程中形成的鍍膜質(zhì)量，以及產(chǎn)品質(zhì)量合格與否有著至關(guān)重要的作用，清除哪些在把才上的殘留物，可減少靶材表面結(jié)瘤，也能提高靶材利用率和生產(chǎn)效率，而且靶材清潔也與后期的養(yǎng)護(hù)密不可分，寶雞巨偉鈦業(yè)有限公司專注從事高純?yōu)R射靶材系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，引進(jìn)先進(jìn)靶材質(zhì)量控制體系，靶材組織結(jié)構(gòu)均勻細(xì)小、性能穩(wěn)定一致、濺射成膜性能優(yōu)異，并且提供定期維護(hù)意見和建議，如果您對我們的產(chǎn)品感興趣，歡迎致電巨偉鈦業(yè)。

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